多轴精密气浮台
QFL3D系列三轴气浮运动台
QFL3D系列是目前我司制造的性能卓越，结构紧凑的三轴气浮运动台。广泛应用于精密加工，测试测量，扫描、半导体及光子学对准等行业。由于非接触式运动，精度高和结构紧凑是行业内的理想选择。
产品特点
<< 非接触式气浮导轨结构
<< 重复定位精度±75nm
<< 微动步进5nm
<< 结构紧凑、精度高
<< 优化线缆管理系统
<< Z轴低摩擦气缸配重减轻Z轴电机出力
<< 根据需求可定制
背景介绍
QFL3D系列是目前我司制造的性能卓越，结构紧凑的三轴气浮运动台。广泛应用于精密加工，测试测量，扫描、半导体及光子学对准等行业。由于非接触式运动，精度高和结构紧凑是行业内的理想选择。
直线台设计
QFL3D是一款非接触式预负载气浮直线台，气浮非接触式结构已经证明是精密应用中的理想选择，适用于微纳制造，测试测量和光子学对准等应用，具有体积小，精度高和外观紧凑等特点，无论是微动步进，还是速度稳定性的要求，QFL3D都证明是最终的解决方案。
定制化设计
根据用户实际应用，可以选择单轴，双轴，三轴等多种结构，如单轴Z轴低摩擦气缸配重结构，双轴T形曲面加工结构和三轴间行程大小等都可以接受定制。为使阿贝误差影响到最小，各轴也可以定制化，保证精度性能。
线缆优化管理
经过多年的研究，线缆管理对精指标度有影响，我们精心优化管线弯曲半径，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮台的性能，使用高质量的电缆，以确保无故障操作，减少停机时间。同时使设备外观更整洁，创造良好的作业环境。
洁净室兼容性
气浮轴承本质上与洁净室环境兼容，高质量的无尘线缆管理系统也符合实验室环境。
规格指标
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型 号 |
QFL3D-50-50-25 |
QFL3D-100-100-50 |
QFL3D-150-150-50 |
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|
运动轴 |
X |
Y |
Z |
X |
Y |
Z |
X |
Y |
Z |
|
行程（mm） |
50 |
50 |
25 |
100 |
100 |
50 |
150 |
150 |
50 |
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驱动系统 |
直驱直线电机 |
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定位精度（um） |
±0.2 |
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重复定位精度（nm） |
±50 |
±75 |
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分辨率（nm） |
0.3 |
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|
微动步距（nm） |
5 |
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最大速度（mm/s） |
200 |
300 |
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|
加速度（g） |
2 |
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|
直线度（um） |
±0.15 |
±0.5 |
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|
平面度（um） |
±0.25 |
±0.5 |
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负载（Kg） |
5.5 |
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|
操作压力（MPa） |
0.5±0.05 |
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空气消耗量（SLPM） |
20 |
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注：1. 空气供应需清洁，干燥至0°F露点，灰尘颗粒过滤≤0.25um或纯度99.99%氮气。
2. 以上精度测量的测试位置在工作台面中心以上25mm处，测试环境温度20±1℃，湿度40%-60%RH.
外形尺寸
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型号 |
A |
B |
C |
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QFL3D-50-50-25 |
338mm |
345mm |
411mm |
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QFL3D-100-100-50 |
388mm |
395mm |
461mm |
|
QFL3D-150-150-50 |
440mm |
445mm |
520mm
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梁先生