精密气浮转台
QFR系列气浮转台
QFR系列气浮旋转台在极低的外形封装中提供高定位精度、高速度稳定性和纳米级跳动。QFR的设计满足生物检测、晶圆检测、高精度计量、X射线衍射系统、光学检测和制造以及MEMS/纳米技术设备制造等高端行业。
产品特点：
<< 闭式气浮轴承结构
<< 直驱驱动，零齿槽效应
<< 高速度稳定性
<< 纳米级跳动误差
<< 重复定位精度±0.5角秒
背景介绍
QFR系列气浮旋转台在极低的外形封装中提供高定位精度、高速度稳定性和纳米级跳动。QFR的设计满足生物检测、晶圆检测、高精度计量、X射线衍射系统、光学检测和制造以及MEMS/纳米技术设备制造等高端行业。
密封式设计
对QFR直驱旋转台进行了优化设计，使工作台面降到最低，这种设计结构有效的降低了工作点的高度，最大减少了因与其他轴叠层安装引起的阿贝误差。密封式结构具有高刚度和大负载承重，不仅有较低的轴向和径向端跳误差，而且倾角误差比较小，由此产生的面误差明显优于其它气浮转台或气浮主轴，有利于各种应用。
非接触式结构
QFR采用无齿槽无刷电机和气浮轴承，极大的提高了定位性能。电机采用先进的磁路设计，以最小的热量产生高扭矩输出，无齿槽设计固有的零齿槽效应和扭矩波纹折射，这使得QFR非常适合在低速或高速下平滑快速旋转等应用。
高精度性能
气浮转台采用精密圆光栅反馈，先进的驱动控制对光栅栅距细分，分辨率0.01角秒，轴向跳动误差＜80nm。
定制化设计
气浮转台可安装滑环，用于测试速度稳定性，MEMS和惯性导航等应用。
规格指标
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型 号 |
QFR-100 |
QFR-200 |
QFR-300 |
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行程（deg） |
360°连续转动 |
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台面直径（mm） |
100 |
200 |
300 |
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定位精度 （arc-sec） |
±2 |
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重复定位精度 （arc-sec） |
±0.5 |
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最大速度（rpm） |
300 |
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轴向跳动（nm） |
60 |
80 |
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径向跳动（nm） |
100 |
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分辨率（arc-sec） |
0.01 |
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摆动（urad） |
3 |
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负载（Kg） |
50 |
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工作气压（MPa） |
0.5±0.05 |
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注：1. 空气供应需清洁，干燥至0°F露点，灰尘颗粒过滤≤0.25um或纯度99.99%氮气。
2. 以上精度测量的测试位置在工作台面中心以上25mm处，测试环境温度20±1℃，湿度40%-60%RH.
外形尺寸
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型号 |
S |
C |
D |
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QFR-100 |
130mm |
95mm |
100mm |
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QFR-200 |
230mm |
95mm |
200mm |
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QFR-300 |
330mm |
95mm |
300mm |
梁先生